离子束蚀刻机通用规范

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  • 版 次:1
  • 页 数:9
  • 字 数:20000
  • 印刷时间:2013年02月01日
  • 开 本:大16开
  • 纸 张:胶版纸
  • 包 装:平装
  • 是否套装:否
  • 国际标准书号ISBN:155066146131
作者:本社 编著出版社:中国标准出版社出版时间:2013年02月 
内容简介

  本标准由中华人民共和国工业和信息化部提出。
  本标准由中国电子技术标准化研究所归口。
  本标准起草单位:中国电子科技集团公司第四十八研究所。
  本标准主要起草人:陈特超、周大良。
  本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
  ——GB/T 15861—1995。


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