真空测量与控制

　　本书系统介绍了真空测量与控制的原理、技术和方法，内容涉及真空测量技术、各种真空传感器和仪器电路、真空校准和真空检漏的原理和方法、真空设备和真空系统的自动控制等。本书在编写过程中注意知识体系的完整性，力求反映新技术、新成果，努力做到知识性和实用性的统一。编写本书的主要目的在于让读者掌握真空状态下全压力和分压力测量的方法及所用仪器的结构和工作原理，了解真空计校准的一些常识，熟悉常用的真空检漏方法和检漏仪器，具备真空仪器电路、控制系统的初步分析和设计能力。 

本书系统地介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法，介绍的主要内容有真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基本原理、各种检漏方法、氦质谱检漏仪及其他检漏仪、标准漏孔、真空测量仪器电路、真空设备与系统的自动控制等。
本书可作为高等学校真空技术及设备、材料科学与工程、物理学等相关专业本科生和研究生的教材，还可供从事真空获得、真空测量和真空应用的工程技术人员参考。

　　0 绪论
“真空”是指在指定空间内低于环境大气压力的气体状态，也就是该空间内气体分子密度低于该地区大气压的气体分子密度。不同的真空状态，就意味着该空间具有不同的分子密度。在标准状态（即0℃，101325Pa）下，气体的分子密度为2.6870×10 25m-3，而在真空度为1×10-4Pa时，气体的分子密度只有2.65×10 16m-3。
完全没有气体的空间状态称为绝对真空，绝对真空实际上是不存在的。
今天，真空技术的发展已可获得从大气压力直到10-14Pa、宽达20个数量级的压力范围。随着真空获得和真空测量技术的改进，这个范围的下限正在不断降低。
真空分为人工真空和自然真空。人工真空是在地球上通过对一容器抽气而获得的；而地球上动物生命的某些功能中，天生就会使用“真空技术”，如人的呼吸可使胸腔呈真空状态（9.7×10 4～4×10 4Pa），这就是自然真空。地表面的上方是空间真空，随着距地面高度增加，压力逐渐降低，90km的高空压力约为10-1Pa，1000km高空的压力约为10-8Pa，而在10 4km高空压力可降至10-11Pa。
近几十年来，真空技术由实验室转到工业生产中，随着原子能、半导体、宇宙航行、电子计算机和可控热核反应等技术的发展，真空技术得到了迅速的发展。真空技术是实现许多尖端技术的重要手段，在国民经济各行各业中有着广泛应用，现已发展成一门独立的学科。
本书介绍真空测量与控制方面的一些知识，内容涉及真空测量的基本原理、各种真空传感器、仪器电路、真空校准、真空检漏和真空设备及系统的自动控制等，它们是真空科学与技术的重要组成部分。
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