内容简介
相对于人们对涉及的非传统物理的理解，MEMS技术发展得非常快。只有深刻掌握其基本原理，才能促进MEMS技术的提高，才有可能进行微机电系统的设计和制造，并让其在现有的和设想的各个领域广泛应用。本书是MEMS手册中的基础部分，提供有关MEMS理论和技术基础的文献和参考。书中除了介绍MEMS在微小尺度方面的物理学、流体力学、力学、光学、电、润滑，还包含了控制理论、分布式控制及软计算的内容。这些内容涉及未来应用的各种重要基础知识，将其应用于微传感器和微执行器能够实现节约能源的有效控制并提高人工装置性能。本书可供MEMS技术人员和设计人员使用，也可供MEMS专业的高年级本科生和研究生参考。