内容简介
MEMS技术是21世纪发展的重大技术,涉及国防、航天、医疗等领域。本书以各种微型阀、微型泵、微型马达、压电元器件的制造为目的,阐述其功能,所依据的物理原理及定律。本书还详细介绍了电学,热学和力学有限元方法的要领,相关软件的使用及硅片的加工处理方法。阅读本书,可以为MEMS元件的设计和制造打下较好的基础,从而可以灵活应用所学知识。
本书可供国防、航天、医疗等专业的技术人员阅读,也可供大专院校有关专业师生参考。
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