真空溅射镀膜设备（JB/T 8945-2010）

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版次：1
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印刷时间：2010年07月01日
开本：大16开
纸张：胶版纸
包装：平装
是否套装：否
国际标准书号ISBN：151119760
作者:本社编出版社:机械工业出版社出版时间:2010年07月

目　　录

前言
1 范围
2　规范性引用文件
3　型号与基本参数
4　技术要求
　4．1 设备正常工作条件
　4．2 结构要求
　4．3 制造质量
　4．4　安全防护要求
5　试验方法
　5．1 极限压力的测定
　5．2　抽气时间的测定
　5．3　升压率的测定
　5．4　溅射电流的变化率的测定