半导体激光干涉理论及应用

本书讨论以半导体激光器为光源的干涉理论及在几 何量测量中的应用技术，全书共八章。以半导体激光器体 积小，重量轻、输出光可调谐、易集成等优点为基础所形 成的半导体激光干涉技术，为实现许多物理量的高精度、 非接触、在线测量提供可能。本书作为半导体激光干涉理 论及其应用技术的系统总结，详细介绍有关的理论基础、 可能出现问题的具体解决方法，详细讨论了利用各种输 出光调谐方式进行几何量干涉测量的理论及技术。 本书所讨论的内容基本上反映了近年来该领域的主 要成就，涉及到了几何量测量的大部分内容，有广泛的适 用性，可以作为从事精密仪器、光学仪器以及其他仪器仪 表研究、应用的专业技术人员的参考书，对从事机械制 造、航天航空、电子工业等领域的有关人员也一定会有较 大的帮助。