微机电系统设计(MEMS)和原型设计指南

　　《微机电系统设计和原型设计指南》的目的是通过一个使用*计算机辅助设计工具进行布局布线和建模的MEMS设计体验指导学生们，以提供一个健壮的、标准多元晶圆制造工艺的设计。许多这样的工艺都有成熟的设计规则可以分离设计和制造挑战。如果遵循这些规则，学生们能够获得他们所设计的东西。然而标准工艺的使用对可以制造的设备具有一些局限性，因为层数和层厚都是通过标准流程进行设置的，这种方式被成功地用于开发一些商业上成功的MEMS设备，这些设备在本书中也有描述。