纳米压印技术

本书详细地介绍了纳米压印及相关技术的工艺、原理、仿真、应用和前景。全书共分8章：第1章对纳米压印技术和相关的微电子、微压印、微机电系统（MEMS）、纳米技术等背景技术进行了介绍。第2章第4章重点讲述了纳米压印技术的工艺：第2章概述了包括热压印工艺、紫外压印工艺和微接触印刷在内的纳米压印技术工艺，并进行了比较，同时还介绍了相关的软刻蚀技术；第3章重点讨论了纳米压印印章制备的新途径，论述了两种加工软刻蚀印章的新方法；第4章给出了微纳米压印的实验结果，包括各种印章和压印胶组合进行压印的分析。第5章讨论了纳米压印技术的理论研究，包括压印胶填充机理、填充时间等。第6章介绍了一些纳米压印技术相关的仿真，如分子动力学仿真等。第7章讨论了纳米压印技术的应用，包括在光学、电子学、生物学、医学、光电子、磁学等领域的广泛应用。第8章对纳米压印技术和各种下一代光刻技术进行展望，分析了下一代光刻技术面临的困境和发展前景。  

本书详细介绍了纳米压印及相关技术的工艺、原理、仿真、应用和展望。纳米压印技术是在纳米尺度获得复制结构的一种成本低而速度快的方法，它可以大批量重复性地在大面积上制备纳米图案结构，而且所制出的高分辨率图案具有相当好的均匀性和重复性。本书不仅可以供从事微电子、微纳加工、纳米技术的科技人员参考，也可供化学、生物、医学、光电子和磁学等领域的科研人员借鉴。同时，本书深入浅出，通俗易懂，也具有一定的科普价值。