集成电路制造工艺技术体系

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• 版 次：31
• 页 数：
• 字 数：
• 印刷时间：2016年12月08日
• 开 本：B5
• 纸 张：胶版纸
• 包 装：圆脊精装
• 是否套装：否
• 国际标准书号ISBN：9787030501578
• 丛书名：半导体科学与技术丛书

作者:严利人，周卫出版社:科学出版社出版时间:2017年07月